二次离子质谱仪（SIMS）分析方法

Q：

样品大约120个微米，想研究下表层深度元素分析（5~6um左右），用什么检测仪器可以做呢？

A：

扫描电镜+能谱应该可以

SIMS(二次离子质谱)或者AES（俄歇电子能谱）可以做空沿深度方向上的分布

EDS（扫描电子显微镜能谱仪）面扫描就应该可以了吧

引用: SIMS或者AES可以做空沿深度方向上的分布

有一个问题是，深度剖析的话，对于你说的检测方法来说，120um的样品检测时是不是可以人为设定需要打到的深度

可是试试XPS（X射线光电子能谱），是专门做表面元素分析的，精度也比较高，但样品元素含量太少的话，对精度有一定影响。表面剥离2个原子层左右。具体你可以联系厂家，仔细问问情况，看能不能满足你的要求。不过做一个样品的费用比较高，4000左右。

对于微纳米级的粉体来说，而且要求比较高精度，用EDS能谱的确不太适合；
XPS可以考虑，制样的问题要注意，不过我们这XPS没有那么贵，同样是微纳米级的粉体，我们去南大做的，一个样是300.

如果有的话，俄歇能谱（Auger electron spectroscopy）是最好的